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MPCVD系統(tǒng)
基底尺寸2”or 4”wafer應(yīng)用領(lǐng)域金剛石外延片生長微波源德國進(jìn)口微波源氣體純度7N生長溫度800℃~1100℃等離子體溫度5000℃~6000℃腔體不銹鋼雙層腔體+水冷
15002134279
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