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    G1 蒸鍍機(jī)

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    P-400  G2  IN-LINE 蒸鍍機(jī)基板尺寸300x400mm glass應(yīng)用領(lǐng)域PMOLED、薄膜太陽能電池、OTFT對位精度≦2···

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    基板尺寸8”wafer應(yīng)用領(lǐng)域VR Micro-OLED 器件研發(fā)點(diǎn)源配置有機(jī)源13支,金屬源3支腔內(nèi)布局分二區(qū),金屬有機(jī)分離是否有LL有,磁力桿傳送

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    基板尺寸32x32玻璃基底(4片每次)應(yīng)用領(lǐng)域底發(fā)射OLED&鈣鈦礦器件點(diǎn)源配置有機(jī)舟8支,金屬舟2支腔內(nèi)布局單體機(jī)是否有LL否

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    MT(材料驗(yàn)證機(jī))

    基板尺寸100x100玻璃基底(tray盤)應(yīng)用領(lǐng)域OLED器件研發(fā)&材料驗(yàn)證點(diǎn)源配置有機(jī)源16支,金屬源3支腔內(nèi)布局OC、MC分二腔,或者合并分四區(qū)是否有LL有,配進(jìn)口Robot

  • Top-device研發(fā)機(jī)
    Top-device研發(fā)機(jī)

    基板尺寸50x50玻璃基底(8片每次)應(yīng)用領(lǐng)域頂發(fā)射OLED器件研發(fā)點(diǎn)源配置有機(jī)源12支,金屬源2支腔內(nèi)布局單體機(jī)(金屬&有機(jī)源分隔)是否有LL否