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超高真空互聯(lián)
Sputter&PLD超高真空互聯(lián)極限真空度5x10-9torr四支2“圓形靶槍?zhuān)?“wafer基底準(zhǔn)分子激光器+六靶臺(tái)
Sputter&PLD超高真空互聯(lián)
極限真空度5x10-9torr
四支2“圓形靶槍?zhuān)?“wafer基底
準(zhǔn)分子激光器+六靶臺(tái)
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