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Sputter&PLD超高真空互聯極限真空度5x10-9torr四支2“圓形靶槍，2“wafer基底準分子激光器+六靶臺

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高端蒸鍍機磁控濺射機 MPCVD 原子層沉積（ALD）非標超高真空系統

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